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半導體激光器

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PKG系列無水封裝蝶形激光器

PKG系列無水封裝蝶形激光器

一款1392.5nm DFB激光器,用于測量低水分濃度。由于消除了傳統PKG所存在的藍寶石窗口和光纖耦合之間的少量水汽問題,因此可以測量微量的水蒸氣濃度,且不受外界空氣影響,具有很高的重復性。

產品特點


  • 超低水分檢測
  • 14 pin 蝶形封裝


傳統封裝:


新型封裝:

主要應用


  • 半導體制造系統
  • TDLAS、WMS技術
  • 超低水分濃度監測


應用舉例:


使用 TDLAS 方法比較 H2O氣體吸收光譜。紅線代表參考氣室的吸收線。在左圖所示的傳統 PKG 光譜中,我們可以看到仍有約 30 ppm-m 的背景吸收,如藍線所示。另一方面,在右圖所示的新型 PKG 光譜中,藍線所示的背景吸收已降至 2.5 ppm-m 的水平。



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