6軸精密操縱 所有6個軸真正獨立 沒有串擾 直接讀出波導Y軸位置 快速的齒條和齒輪驅動可以方便地訪問中央工作站,簡單加載 便攜式和穩定 - 無需光學桌。 并入兩個具有20 nm靈敏度的Elliot Gold?系列XYZ彎曲平臺(MDE122)。