高功率晶圓測試系統采用密閉腔體形式，將運動構件、制熱構件、制冷構件以及測試使用的晶圓卡盤、探針臺、探針壁等部件集 中在密閉腔體中，構建安全、穩定的功率器件晶圓級測試環境，滿足高溫、低溫、高壓、高流等極端條件的安全測試要求，保護器 ...
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